|
| | |
Сторижко, В. Е.
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития [Текст] / В. Е. Сторижко, В. И. Мирошниченко, А. Г. Пономарев
// Наука та інновації. – 2012. – Т. 8, № 2. – С. 17-22. – Библиогр.: 22 назв.
|
| |
|
