|
| | |
Вакуумно-плазмовий модуль для формування сруктур елементарної бази наноелектроники та мікроенергетики [Текст] / Е. М. Руденко, І. В. Короташ, В. Ф. Семенюк, К. П. Шамрай
// Наука та інновації. – 2010. – Т. 6, № 3. – С. 36-38.
|
| УДК 621.355+539.21+621.382 |
| |
|
